Супстрат MgF2
Опис
MgF2 се користи како леќа, призма и прозорец за бранова должина од 110nm до 7,5μm.Тој е најсоодветен материјал како прозорец за ArF Excimer Laser, поради неговиот добар пренос на 193nm.Ефикасно е и како оптичко поларизирање во ултравиолетовиот регион.
Својства
| Густина (g/cm3） | 3.18 |
| Точка на топење (℃) | 1255 година |
| Топлинска спроводливост | 0,3 Wm-1K-1 на 300K |
| Термално ширење | 13,7 x 10-6 /℃ паралелна c-оска 8,9 x 10-6 /℃ нормална c-оска |
| Кнуп Цврстина | 415 со вовлекувач од 100 g (kg/mm2) |
| Специфичен топлински капацитет | 1003 J/(kg.k) |
| Диелектрична константа | 1,87 на 1MHz паралелна c-оска 1,45 на 1MHz нормална c-оска |
| Youngs Modulus (E) | 138,5 GPa |
| Модул на смолкнување (G) | 54,66 GPa |
| Масовен модул (К) | 101,32 GPa |
| Коефициент на еластичност | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Очигледна граница на еластичноста | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Поасон сооднос | 0,276 |
Дефиниција на супстратот MgF2
Подлогата MgF2 се однесува на супстрат направен од кристален материјал од магнезиум флуорид (MgF2).MgF2 е неорганско соединение составено од елементи на магнезиум (Mg) и флуор (F).
Подлогите MgF2 имаат неколку забележителни својства што ги прават популарни во различни апликации, особено во областа на оптика и таложење на тенок филм:
1. Висока транспарентност: MgF2 има одлична транспарентност во ултравиолетовите (UV), видливите и инфрацрвените (IR) региони на електромагнетниот спектар.Има широк опсег на пренос од ултравиолетови на околу 115 nm до инфрацрвени на околу 7.500 nm.
2. Низок индекс на рефракција: MgF2 има релативно низок индекс на прекршување, што го прави идеален материјал за AR облоги и оптика, бидејќи ги минимизира несаканите рефлексии и го подобрува преносот на светлина.
3. Ниска апсорпција: MgF2 покажува ниска апсорпција во ултравиолетовите и видливите спектрални региони.Ова својство го прави корисен во апликации кои бараат висока оптичка јасност, како што се леќи, призми и прозорци за ултравиолетови или видливи зраци.
4. Хемиска стабилност: MgF2 е хемиски стабилен, отпорен на широк опсег на хемикалии и ги одржува своите оптички и физички својства под широк опсег на услови на животната средина.
5. Термичка стабилност: MgF2 има висока точка на топење и може да издржи високи работни температури без значителна деградација.
Подлогите MgF2 најчесто се користат во оптички премази, процеси на таложење на тенок филм и оптички прозорци или леќи во различни уреди и системи.Тие исто така можат да послужат како тампон слоеви или шаблони за раст на други тенки филмови, како што се полупроводнички материјали или метални облоги.
Овие супстрати обично се произведуваат со помош на техники како што се таложење на пареа или методи за физички транспорт на пареа, каде што материјалот MgF2 се депонира на соодветен материјал за подлогата или се одгледува како еден кристал.Во зависност од барањата за апликација, подлогите можат да бидат во форма на наполитанки, чинии или сопствени форми.
